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        晶圓有線測(cè)溫系統(tǒng)

        更新時(shí)間:2025-01-15

        簡(jiǎn)要描述:

        RTD Wafer 晶圓有線測(cè)溫系統(tǒng)
        儀表化晶圓(熱電偶或RTD)適用于半導(dǎo)體加工設(shè)備,在這些設(shè)備中,了解和控制晶圓表面的溫度至關(guān)重要。

        型號(hào):RTD Wafer點(diǎn)擊量:1286

          免費(fèi)咨詢:86-021-59966206

          發(fā)郵件給我們:501630350@qq.com

        RTD Wafer 晶圓有線測(cè)溫系統(tǒng)

        儀表化晶圓(熱電偶或RTD)適用于半導(dǎo)體加工設(shè)備,在這些設(shè)備中,了解和控制晶圓表面的溫度至關(guān)重要。

        RTD Wafer 晶圓有線測(cè)溫系統(tǒng)

        測(cè)溫范圍:-40℃至250℃

        電阻器:薄膜鉑

        電阻:0°C時(shí)標(biāo)稱電阻值為1000 Q

        精度:±0.1℃

        測(cè)溫點(diǎn)數(shù):1~68個(gè)

        傳感器引線:可定制

        可提供絕緣:聚酰亞胺涂覆的銅引線

        測(cè)溫探頭接口:DB37

        晶圓材質(zhì):硅片,藍(lán)寶石,碳化硅等(基材形狀和尺寸可定制)

        晶圓尺寸:50mm,100mm,150mm,200mm,300mm

        真空貫通帶:聚酰亞胺扁平電纜,大氣壓可達(dá)10-7Torr(長(zhǎng)度由客戶定)


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