產(chǎn)品中心您現(xiàn)在的位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品展示 > 流量計(jì) > 質(zhì)量流量計(jì) > 21Q系列ALICAT 高壓氣體質(zhì)量流量控制器

        ALICAT 高壓氣體質(zhì)量流量控制器

        更新時(shí)間:2025-01-14

        簡(jiǎn)要描述:

        ALICAT 高壓氣體質(zhì)量流量控制器21Q系列氣體質(zhì)量流量控制器,同我們的標(biāo)準(zhǔn)控制器一樣,能對(duì)需要較高管線壓力(160-320 PSI絕壓)的應(yīng)用環(huán)境進(jìn)行快速控制響應(yīng)。這款高壓應(yīng)用質(zhì)量流量控制器可快速達(dá)到新的設(shè)定值,并保持該設(shè)定值,即使在壓力突然增加的情況下,亦如此。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)為您定制閥門和PID調(diào)節(jié)功能,確保相關(guān)產(chǎn)品能夠快速實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定控制。

        型號(hào):21Q系列點(diǎn)擊量:1870

          免費(fèi)咨詢:86-021-59966206

          發(fā)郵件給我們:501630350@qq.com

        ALICAT 高壓氣體質(zhì)量流量控制器21Q系列

        應(yīng)用及案例


        ● 大學(xué)/研究所                 ● 環(huán)境監(jiān)測(cè)

        ● 真空行業(yè)及鍍膜           ● 工業(yè)爐窯

        ● 半  導(dǎo)  體                     ● 汽車制造

        ● 光       伏                     ● 燃料電池

        ● 計(jì)量校準(zhǔn)                     ● 過(guò)程工藝氣體測(cè)量

        ALICAT 高壓氣體質(zhì)量流量控制器21Q系列

        產(chǎn)品特色

        ●  多功能。監(jiān)控流速的同時(shí)控制壓力;可選擇另一臺(tái)已知路程氣體校準(zhǔn)儀或者利用COMPOSERTM氣體編輯器確定自己的氣體組成。

        ●  連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通訊選項(xiàng),可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。

        ●  耐用。21Q系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓介質(zhì)暫時(shí)流動(dòng)。為保證對(duì)環(huán)境影響的耐受性,我們可以為您的質(zhì)量流量控制器構(gòu)建IP66等級(jí)防護(hù)。


        精度升級(jí)

        量程為10 SCCM - 3000 SLPM,

        其中10 SCCM - 20 SLPM量程段,下述指標(biāo)升級(jí):

        質(zhì)量流量普通精度         ± 0.6%讀數(shù) 或± 0.1%滿量程(取最大值)

        測(cè)量和控制范圍             0.1 ~ 100%滿量程

        重復(fù)性                          ± 0.1%滿量程


        技術(shù)指標(biāo)

        介質(zhì)要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

        介質(zhì)種類    內(nèi)置了98種氣體,請(qǐng)參考?xì)怏w兼容表

                           一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇

        量       程     從0 ~ 10 SCCM 到 0 ~ 3000 SLPM

        量程可控比(穩(wěn)態(tài))    0.5% ~ 100%滿量程

        最大顯示流量    高達(dá)128%滿量程(取決于氣體)

        最大可控流量    102.4%滿量程

        顯  示  屏    帶背光按鍵,標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏

        顯示方式    同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

        精       度    ± 2%滿量程    精度升級(jí)見(jiàn)左下角

        重  復(fù) 性    ± 0.2%滿量程

        質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移    ± 0.01%滿量程/ ℃(從25℃開(kāi)始) 

                                         ± 0.01%滿量程/ Atm(從校準(zhǔn)壓力開(kāi)始)

        質(zhì)量流量量程漂移    ± 0.01%讀 數(shù)/ ℃(從25℃開(kāi)始) 

                                         ± 0.1 %讀 數(shù)/ Atm(從校準(zhǔn)壓力開(kāi)始)

        控制響應(yīng)時(shí)間(T63)    優(yōu)于100 ms(與流量相關(guān),用戶可調(diào))

        顯示響應(yīng)時(shí)間    <10 ms(與流量相關(guān))             

        預(yù)熱時(shí)間    <1s

        默認(rèn)標(biāo)況(STP)    25 ℃ & 1Atm(其它標(biāo)況可調(diào))

        工作溫度    -10 ~ 60 ℃(可選高溫/低溫選項(xiàng))

        溫度精度    ± 0.75 ℃

        工作濕度    0 ~ 95%

        最大工作壓力    320 PSI 絕壓

        滿量程壓損    參考詳細(xì)壓損表

        數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號(hào)40Hz@19200波特率;模擬信號(hào):1000 Hz

        屏幕刷新頻率    10 Hz

        數(shù)字輸入/輸出信號(hào)    RS-232、RS-485、Modbus RTU、PROFIBUS、                                 

                           EtherNet/IP、DeviceNet、Modbus TCP/IP、EtherCAT

        模擬輸入/輸出信號(hào)    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

        模擬信號(hào)精度    在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差

        供電電壓     12 - 24 VDC 

        供電電流    0.250 -1A(+40 mA,對(duì)于4-20 mA輸出)

        電氣接口    DB9M,可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN、8-pin M12等

        泄漏率(外漏)    選擇HLCP選項(xiàng),泄漏率可低至1 x 10-6Atm cc/s He 

        材       質(zhì)    302,303,304,316L,430,410不銹鋼、FKM氟橡膠、陶瓷、

                           硅橡膠、聚酰胺、環(huán)氧樹(shù)脂、金、銅、硅、玻璃。

        過(guò)程連接    詳情參考?jí)簱p表

        安裝位置    小閥門無(wú)要求,R閥門需閥體垂直向上安裝

        防護(hù)等級(jí)    IP40

        認(rèn)    證    ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA (可選)


        選項(xiàng)配件


        (需另行訂購(gòu))

        ●  過(guò)程端口接頭和過(guò)濾器

        ●  電源

        ●  通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜

        ●  BB3和BB9多點(diǎn)式集線盒

        ●  Flow Vision軟件

        包裝清單


        ●  MCQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器(電源需另行訂購(gòu))

        ●  NIST可溯源校準(zhǔn)證書

        ●  艾里卡特操作說(shuō)明書

        尺寸詳圖


        21Q尺寸圖.png



        尺寸壓損


        滿量程質(zhì)量流量控制器

        滿量程壓損(PSID)

        排氣到大氣中

        機(jī)械尺寸1

        過(guò)程連接2

        10 SCCM ~ 50 SCCM

        1.0

        3.9''H x 3.4''W x 1.1''D

        M-5 (10-32)(內(nèi)螺紋)

        100 SCCM ~ 500 SCCM

        1.0

        4.1''H x 3.6''W x 1.1''D

        1/8'' NPT 內(nèi)螺紋

        1 SLPM

        1.5

        2 SLPM

        3.0

        5 SLPM

        2.0

        10 SLPM

        5.5

        20 SLPM

        20.0

        50 SLPM

        9.0

        5.5''H x 7.7''W x 2.3''D

        1/4'' NPT 內(nèi)螺紋

        100 SLPM

        2.6

        250 SLPM

        4.6

        5.5''H x 7.7''W x 2.3''D

        1/2'' NPT 內(nèi)螺紋

        500 SLPM

        6.5

        5.5''H x 7.3''W x 2.3''D

        3/4'' NPT 內(nèi)螺紋

        (A 1-1/4" NPT 內(nèi)螺紋可選過(guò)程連接

        可用于2000 slpm 流量計(jì))

        1000 SLPM

        14.0

        1500 SLPM

        17.0

        2000 SLPM

        28.6

        5.5''H x 8.1''W x 2.9''D

        3000 SLPM

        16.8

        5.5''H x 8.9''W x 2.9''D

        1-1/4'' NPT 內(nèi)螺紋

        注1、公制數(shù)據(jù)見(jiàn)圖紙;

        2、與Swagelok®管、Parker®、表面密封、快接接頭和卡套轉(zhuǎn)接頭相兼容,也可根據(jù)要求連接VCR和SAE。

        3、與M-5 (10-32)外丁腈橡膠O形圈表面密封至1/8''NPT內(nèi)螺紋接頭一起裝箱。



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