氣體質量流量控制器

上海睿丹自動化儀表有限公司生產氣體質量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC) 用于對氣體的質量流進行精密測量和控制。它們在半導體集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保等多種領域的科研和生產中有著重要的作用。典型應用場合有微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀以及其他分析儀器。

氣體質量流量控制器產品特點

自帶顯示，可獨立運行

質量流量控制器執行JJG1132-2017國家標準進口電磁比例閥，使用壽命更長

采用RS-485通信接口，可遠程組網使用可通過RS-485對MFC進行校準標定緊湊型外觀設計，節約更多空間

內置高精度MEMS傳感器，測量控制更精準

所有產品均采用特定高純氣體標定，確保產品的精度任意角度安裝均不影響氣體流量專業團隊，提供優質服務

氣體質量流量控制器最大量程 50sccm-5slpm(可定制) 

精度 +1%F.S. 

氣體類型 H/He/N/Air/Ar(可定制) 

響應時間 1s 

壓差范圍 <1MPa 

工作溫度 0~50℃ 

工作濕度 0~95%R.H.(非冷凝) 

工作電壓 DC24V+10%/DC12V+10% 

信號接口 RS-485(Modbus) 

氣路材質 不銹鋼/鋁合金/鋁合金惰性涂層 

氣路接口 1/16 或 1/8或 1/4 

尺寸 60x26x80mm